• UNIPOL1502 기계는 직경 14~15" 의 super flat lapping plate로 구성되어 있으며, 3개의 작업대가 있는 직경 4"까지의 결정 재료, 반도체 기판, 세라믹 substrate의 polishing을 위한 고정밀 연마기로 사용된다.
  • 이 장비는 또한 금속 시편 제조를 위한 표준 그라인딩 및 폴리싱 기계로도 사용된다.
  • MTI는 사용자들의 예산과 용도에 맞는 비용효율이 높은 폴리싱 기계를 제공한다.
  • 5micron씩 감소하는 정밀 회전 손잡이
  • square inch당 0.25 micron이하의 평평함이 있는 두개의 super flat lapping plate
  • Lapping용 철 주물 plate 1개와 polishing용 알루미늄 주물 plate 1개
  • 내구성이 강한 주물 알루미늄 용기
  • 웨이퍼 용기와 condition ring 이 있는 3개의 흔들 작업대
  • 폴리싱시 한번에 2" wafer 9장과 4" wafer 3장을 독립적으로 제어가능
  • Digital 화면이 있는 0~80 rpm 가변 가능한 속도
  • 99시간까지의 자동 멈춤이 있는 조절가능한 타이머
  • 자동적으로 폴리싱할 수 있는 자동 슬러리 주입기-옵션
  • Power: 120 V or 240 V selectable
  • Motor: 0.26 KW high torque DC motor with one year warranty
  • Speed: Variable from 0 to 80 RPM with digital display
  • Timer: 1 minute ~ 99.99 hours
  • Condition ring: 140 OD x 108 ID x 25 T ( mm )
  • Wafer Holder: 105 Dia. x 32 T ( mm )
  • Dimension: 650L x 510W x 300H (mm)
  • Weight: 95 Kg
  • Package dimension: 45" x 45" x 31"
  • Shipping weight: 250 lbs