SiO2 Coated Silicon Wafer

• Substrate Si Wafer
  - Customer가 원하는 아래 Si Wafer위에 SiO2를 Dry방식과 Wet방식으로 SiO2를 Coating하는 Wafer 입니다.
  - Wafer Size : 2" ~ 4" ~6" ~200mm ~300
  - Grade : Test Grade
  - Type/Dopanr : N/P or P/B
  - Orientation : 100
  - Resistivity : 1-30ohm.cm
  - Polishing : One Side Polishing
• SiO2 Coated
  - Thermal Dry방식 : 500A ~ 3000A
  - Thermal Wet방식 : 500A ~ 30,000A

• Substrate Si Wafer
  - Customer가 원하는 아래 Si Wafer위에 Si3N4를 Coating하는 Wafer입니다.
  - Wafer Size : 2" ~ 4" ~6" ~200mm ~300
  - Grade : Test Grade
  - Type/Dopanr : N/P or P/B
  - Orientation : 100
  - Resistivity : 1-30ohm.cm
  - Polishing : One　　 Side Polishing
• Si3N4 Coated : 500A ~ 3000A [LPCVD방식]
• 기타 : Gold, Titanium등도 가능합니다.